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Rapid Thermal Processing: Science and Technology, Fair 9780122476907 Great!
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eBay-Artikelnr.:185623748463
Artikelmerkmale
- Artikelzustand
- PublishedOn
- 0
- ISBN
- 9780122476907
Über dieses Produkt
Product Identifiers
Publisher
Elsevier Science & Technology
ISBN-10
0122476905
ISBN-13
9780122476907
eBay Product ID (ePID)
58070
Product Key Features
Number of Pages
430 Pages
Publication Name
Rapid Thermal Processing : Science and Technology
Language
English
Publication Year
1993
Subject
Materials Science / General, Manufacturing, Mechanics / Thermodynamics
Type
Textbook
Subject Area
Technology & Engineering, Science
Format
Hardcover
Dimensions
Item Height
0.4 in
Item Weight
25.6 Oz
Item Length
9 in
Item Width
6 in
Additional Product Features
Intended Audience
Scholarly & Professional
LCCN
93-006882
Dewey Edition
20
Illustrated
Yes
Dewey Decimal
621.38152
Table Of Content
1. Rapid Thermal Processing - A Justification 2. Rapid Thermal Processing - Based Epitaxy 3. Rapid Thermal Growth and Processing of Dielectrics 4. Thin-Films Deposition 5. Extended Defects from Ion Implantation and Annealing 6. Junction Formation in Silicon by Rapid Thermal Annealing 7. Silicides 8. Issues in Manufacturing Unique Silicon Devices Using Rapid Thermal Annealing 9. Manufacturing Equipment Issues in Rapid Thermal Processing Index
Synopsis
This is the first definitive book on rapid thermal processing (RTP), an essential namufacturing technology for single-wafer processing in highly controlled environments. Written and edited by nine experts in the field, this book covers a range of topics for academics and engineers alike, moving from basic theory to advanced technology for wafer manufacturing. The book also provides new information on the suitability or RTP for thin film deposition, junction formation, silicides, epitaxy, and in situ processing. Complete discussions on equipment designs and comparisons between RTP and other processing approaches also make this book useful for supplemental information on silicon processing, VLSI processing, and integrated circuit engineering.
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