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Laser-based Etching Technique for Micro/Nano Patterning of Transparent Mate 5511

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EAN: 9783836466028

ISBN: 3836466023

Produktart: Paperback / Softback

Gewicht: 271g

Format: Taschenbuch

Erscheinungsjahr: 2013

Anzahl der Seiten: 136 Seiten

Autor: Rico Böhme

Verlag: Vdm Verlag Dr. Müller E.K.

Sprache: Englisch

Buchtitel: Laser-Based Etching Technique For Micro/Nano Patterning of Transparent Materials

Über dieses Produkt

Produktinformation

Laser-induced backside wet etching (LIBWE) is a promising technique for direct patterning of trans-parent materials with high quality. LIBWE causes laser etching at the back surface of the transparent sample that is in contact with an absorbing liquid. In this work, the etch process has been experimen-tally investigated to study the etch mechanism and ascertain the dominating processes at the backside etching of the transparent materials fused silica, glasses, quartz, MgF2, CaF2, and sapphire. The influ-ence of process parameters on etch rate and surface quality have been systematically studied. The main characteristics of the etching process are a small etching threshold (~0.33 J/cm²; fused silica), small etch rates (1 20 nm/pulse), small roughness of etched surfaces (less than 10 nm rms), an incuba-tion behavior, and a surface micro topography that depend on the etched material and the liquid. With this knowledge, the fabrication of well-defined and high quality features into fused silica by LIBWE is demonstrated, which is potentially applicable for the shaping of microoptical components.

Produktkennzeichnungen

ISBN-10

3836466023

ISBN-13

9783836466028

eBay Product ID (ePID)

66984904

Produkt Hauptmerkmale

Sprache

Englisch

Anzahl der Seiten

136 Seiten

Verlag

Vdm Verlag Dr. Müller E.K.

Autor

Rico Böhme

Buchtitel

Laser-Based Etching Technique For Micro/Nano Patterning of Transparent Materials

Format

Taschenbuch

Erscheinungsjahr

2013

Zusätzliche Produkteigenschaften

Hörbuch

Inhaltsbeschreibung

Paperback

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24cm

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1cm

Item Width

17cm

Item Weight

264g

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USt-IdNr.:

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