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Sub-micron Resolution 3D Structure Writing Using TPA Process 5957
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eBay-Artikelnr.:265448785199
Artikelmerkmale
- Artikelzustand
- EAN
- 9783836483711
- ISBN
- 3836483718
- Gewicht
- 225g
- Fach
- Ingenieurwissenschaften & Technik
- Produktart
- Lehrbuch
- Format
- Taschenbuch
- Erscheinungsjahr
- 2013
- Anzahl der Seiten
- 140 Seiten
- Autor
- Zahidur Rahim Chowdhury
- Verlag
- Vdm Verlag Dr. Müller E.K.
- Publikationsname
- Sub-Micron Resolution 3d Structure Writing Using Tpa Process
- Sprache
- Englisch
Über dieses Produkt
Produktinformation
The two photon absorption (TPA) process is currently used to write high resolution microstructures that can be used in micro-electro-mechanical system (MEMS) and photonic crystal application. Key parameters required to predict the final structure formation for this process are experimentally determined and reported in this thesis for two commercially available resists, Ormocore and SU-8. Moreover, writing capability of 3D structures with simple features is demonstrated in this work. The TPA coefficients of resists were measured for 800 nm (wavelength) light. Light source with such wavelength, Ti:Sapphire femto-second laser, is mostly used for such application. The etch rate, another important parameter of a resist, is determined by varying the exposure dose and measuring the final thickness of the resist layer after different developing time. Mechanical stages with relatively high precision were used to scan the focused laser beam inside the resist in order to produce 3D structures. Rows and dots with different heights, square spirals and hanging beams were fabricated with different thickness by controlling the beam power and the scanning speed.
Produktkennzeichnungen
ISBN-10
3836483718
ISBN-13
9783836483711
eBay Product ID (ePID)
69655470
Produkt Hauptmerkmale
Verlag
Vdm Verlag Dr. Müller E.K.
Erscheinungsjahr
2013
Anzahl der Seiten
140 Seiten
Sprache
Englisch
Publikationsname
Sub-Micron Resolution 3d Structure Writing Using Tpa Process
Produktart
Lehrbuch
Autor
Zahidur Rahim Chowdhury
Format
Taschenbuch
Zusätzliche Produkteigenschaften
Hörbuch
No
Inhaltsbeschreibung
Paperback
Item Height
8mm
Item Length
22cm
Item Width
15cm
Item Weight
225g
Artikelbeschreibung des Verkäufers
Rechtliche Informationen des Verkäufers
USt-IdNr.:
- DE 262837513
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