Introduction To Focused Ion Beams: Instrumentation, Theory, Techniques And ...

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Artikelmerkmale

Artikelzustand
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Book Title
Introduction To Focused Ion Beams: Instrumentation, Theory, ...
ISBN
9780387231167
Kategorie

Über dieses Produkt

Product Identifiers

Publisher
Springer
ISBN-10
0387231161
ISBN-13
9780387231167
eBay Product ID (ePID)
44118264

Product Key Features

Number of Pages
Xvii, 357 Pages
Language
English
Publication Name
Introduction to Focused Ion Beams : Instrumentation, Theory, Techniques and Practice
Subject
Physics / Condensed Matter, Materials Science / Thin Films, Surfaces & Interfaces, Materials Science / Electronic Materials, Physics / Nuclear
Publication Year
2004
Type
Textbook
Subject Area
Technology & Engineering, Science
Author
F. A. Stevie
Format
Hardcover

Dimensions

Item Weight
55 Oz
Item Length
9.3 in
Item Width
6.1 in

Additional Product Features

Intended Audience
Scholarly & Professional
LCCN
2004-056559
Dewey Edition
22
Number of Volumes
1 vol.
Illustrated
Yes
Dewey Decimal
621.3815/2
Table Of Content
The Focused Ion Beam Instrument.- Ion - Solid Interactions.- Focused Ion Beam Gases for Deposition and Enhanced Etch.- Three-Dimensional Nanofabrication Using Focused Ion Beams.- Device Edits and Modifications.- The Uses of Dual Beam FIB in Microelectronic Failure Analysis.- High Resolution Live Imaging of FIB Milling Processes for Optimum Accuracy.- FIB for Materials Science Applications - a Review.- Practical Aspects of FIB Tem Specimen Preparation.- FIB Lift-Out Specimen Preparation Techniques.- A FIB Micro-Sampling Technique and a Site Specific TEM Specimen Preparation Method.- Dual-Beam (FIB-SEM) Systems.- Focused Ion Beam Secondary Ion Mass Spectrometry (FIB-SIMS).- Quantitative Three-Dimensional Analysis Using Focused Ion Beam Microscopy.- Application of FIB in Combination with Auger Electron Spectroscopy.
Synopsis
Introduction to Focused Ion Beams is geared towards techniques and applications. This is the only text that discusses and presents the theory directly related to applications and the only one that discusses the vast applications and techniques used in FIBs and dual platform instruments., Introduction to Focused Ion Beams is geared towards techniques and applications. The first portion of this book introduces the basics of FIB instrumentation, milling, and deposition capabilities. The chapter dedicated to ion-solid interactions is presented so that the FIB user can understand which parameters will influence FIB milling behavior. The remainder of the book focuses on how to prepare and analyze samples using FIB and related tools, and presents specific applications and techniques of the uses of FIB milling, deposition, and dual platform techniques. This is the only text that discusses and presents the theory directly related to applications and the only one that discusses the vast applications and techniques used in FIBs and Dual platform instruments
LC Classification Number
QC173.45-173.458

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