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Grundlagen der Mikrofabrikati
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Artikelmerkmale
- Artikelzustand
- Binding
- Hardcover
- Product Group
- Book
- Subject Area
- Microfabrication
- Educational Level
- Adult & Further Education
- Features
- Illustrated
- Country/Region of Manufacture
- United States
- Weight
- 4.5 lbs
- Subject
- Science
- IsTextBook
- Yes
- ISBN
- 9780849308260
- Publication Year
- 2002
- Type
- Textbook
- Format
- Hardcover
- Language
- English
- Publication Name
- Fundamentals of Microfabrication : the Science of Miniaturization
- Item Height
- 1.9in
- Item Length
- 11.3in
- Publisher
- CRC Press LLC
- Item Width
- 8.5in
- Item Weight
- 71.5 Oz
- Number of Pages
- 752 Pages
Über dieses Produkt
Product Information
Fundamentals of Microfabrication explores the science of miniaturization, including its methods and materials, from the historical to the contemporary. The best-selling first edition of this book met success not only with researchers and engineers, but also in advanced undergraduate and graduate classrooms around the world. The second edition was extensively updated to include the most recent information. The Applications section in particular was expanded to provide more in-depth coverage of bio-, RF-, high-temperature, and optical MEMS. Each chapter now contains a set of carefully constructed problems, and a solutions manual is available with qualifying course adoptions.
Product Identifiers
Publisher
CRC Press LLC
ISBN-10
0849308267
ISBN-13
9780849308260
eBay Product ID (ePID)
1961868
Product Key Features
Publication Name
Fundamentals of Microfabrication : the Science of Miniaturization
Format
Hardcover
Language
English
Publication Year
2002
Type
Textbook
Number of Pages
752 Pages
Dimensions
Item Length
11.3in
Item Height
1.9in
Item Width
8.5in
Item Weight
71.5 Oz
Additional Product Features
Lc Classification Number
Tk7836.M33 2001
Edition Description
Revised Edition,New Edition
Edition Number
2
Table of Content
LITHOGRAPHY Introduction Historical Note: Lithography's Origins Photolithography Overview Critical Dimension, Overall Resolution, Line-Width Lithographic Sensitivity and Intrinsic Resist Sensitivity (Photochemical Quantum Efficiency) Resist Profiles Contrast and Experimental Determination of Lithographic Sensitivity Resolution in Photolithography Photolithography Resolution Enhancement Technology Beyond Moore's Law Next Generation Lithographies Emerging Lithography Technologies PATTERN TRANSFER WITH DRY ETCHING TECHNIQUES Introduction Dry Etching: Definitions and Jargon Plasmas or Discharges Physical Etching: Ion Etching or Sputtering and Ion-Beam Milling Plasma Etching (Radical Etching) Physical/Chemical Etching PATTERN TRANSFER WITH ADDITIVE TECHNIQUES Introduction Silicon Growth Doping of Si Oxidation of Silicon Physical Vapor Deposition Chemical Vapor Deposition Silk-Screening or Screen-Printing Sol-Gel Deposition Technique Doctors' Blade or Tape Casting Plasma Spraying Deposition and Arraying Methods of Organic Layers in BIOMEMS Thin versus Thick Film Deposition Selection Criteria for Deposition Method WET BULK MICROMACHINING Introduction Historical Note Silicon Crystallography Silicon As Substrate Silicon As A Mechanical Element In MEMS Wet Isotropic And Anisotropic Etching Alignment Patterns Chemical Etching Models Etching With Bias And/Or Illumination Of The Semiconductor Etch-Stop Techniques Problems With Wet Bulk Micromachining SURFACE MICROMACHINING Introduction Historical Note Mechanical Properties of Thin Films Surface Micromachining Processes Poly-Si Surface Micromachining Modifications Non-Poly-Si Surface Micromachining Modifications Materials Case Studies LIGA AND MICROMOLDING Introduction LIGA-Background LIGA and LIGA-Like Process Steps A COMPARISON OF MINIATURIZATION TECHNIQUES: TOP-DOWN AND BOTTOM-UP MANUFACTURING Introduction Absolute and Relative Tolerance in Manufacturing Historical Note: Human Manufacturing Section I: Top-Down Manufacturing Methods Section II: Bottom-Up Approaches MODELING, BRAINS, PACKAGING, SAMPLE PREPARATION AND NEW MEMS MATERIALS Introduction Modeling Brains In Miniaturization Packaging Substrate Choice SCALING, ACTUATORS, AND POWER IN MINIATURIZED SYSTEMS Introduction Scaling Actuators Fluidics Scaling In Analytical Separation Equipment Other Actuators Integrated Power MINIATURIZATION APPLICATIONS Introduction Definitions and Classification Method Decision Three OVERALL MARKET For MICROMACHINES Introduction Why Use Miniaturization Technology ? From Perception to Realization Overall MEMS Market Size MEMS Market Character MEMS Based on Si Non-Silicon MEMS MEMS versus Traditional Precision Engineering The Times are a'Changing APPENDICES Metrology Techniques WWW Linkpage Etch Rate for Si, SiO2 Summary of Top-Down Miniaturization Tools Listing of names of 20 amino acids & their chemical formulas; Genetic code Summary of Materials and Their Properties for Microfabrication References for Detailed Market Information on Miniature Devices MEMS Companies Update Suggested Further Reading Glossary Symbols used in Text INDEX Each chapter also contains sections of examples and problems
Copyright Date
2002
Topic
Lasers & Photonics, Materials Science / General, Electronics / Microelectronics, Nanotechnology & Mems, Industrial Technology
Lccn
2001-043273
Dewey Decimal
621.3815/2
Intended Audience
College Audience
Dewey Edition
21
Illustrated
Yes
Genre
Technology & Engineering
Artikelbeschreibung des Verkäufers
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Verpackung und Versand
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Pearl City, Hawaii, USA
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