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Optische Bildgebung in der Projektionsmikrolithographie, Al

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eBay-Artikelnr.:376210704811
Zuletzt aktualisiert am 04. Jul. 2025 02:37:36 MESZAlle Änderungen ansehenAlle Änderungen ansehen

Artikelmerkmale

Artikelzustand
Neu: Neues, ungelesenes, ungebrauchtes Buch in makellosem Zustand ohne fehlende oder beschädigte ...
Book Title
Optical Imaging in Projection Microlithography
ISBN
9780819458292

Über dieses Produkt

Product Information

Here for the first time is an integrated mathematical view of the physics and numerical modeling of optical projection lithography that efficiently covers the full spectrum of the important concepts. Alfred Wong offers rigorous underpinning, clarity in systematic formulation, physical insight into emerging ideas, as well as a system level view of the parameter tolerances required in manufacturing. Readers with a good working knowledge of calculus can follow the step-by-step development, and technologists can gather general concepts and the key equations that result. Even the casual reader will gain a perspective on the key concepts, which will likely help facilitate dialog among technologists.

Product Identifiers

Publisher
Spie Press
ISBN-13
9780819458292
eBay Product ID (ePID)
91966643

Product Key Features

Publication Name
Optical Imaging in Projection Microlithography
Subject
Physics
Publication Year
2005
Series
Tutorial Texts
Type
Textbook
Format
Paperback
Language
English
Author
Alfred K. Wong
Number of Pages
276 Pages

Dimensions

Item Weight
585 g

Additional Product Features

Country/Region of Manufacture
United States
Title_Author
Alfred K. Wong

Artikelbeschreibung des Verkäufers

Rechtliche Informationen des Verkäufers

USt-IdNr.: AT 685613994, GB 203170464
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