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Optische Mikroscanner und Mikrospektrometer mit thermischen bimorphen Aktuatoren von

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ISBN-13: 9781441949462

Book Title: Optical Microscanners and Microspectrometers using Thermal Bimorp

ISBN: 9781441949462

Über dieses Produkt

Product Information

Optical Microscanners and Microspectrometers using Thermal Bimorph Actuators shows how to design and fabricate optical microsystems using innovative technologies and and original architectures. A barcode scanner, laser projection mirror and a microspectrometer are explained in detail, starting from the system conception, discussing simulations, choice of cleanroom technologies, design, fabrication, device test, packaging all the way to the system assembly. An advanced microscanning device capable of one- and two-dimensional scanning can be integrated in a compact barcode scanning system composed of a laser diode and adapted optics. The original design of the microscanner combines efficiently the miniaturized thermal mechanical actuator and the reflecting mirror, providing a one-dimensional scanning or an unique combination of two movements, depending on the geometry. The simplicity of the device makes it a competitive component. The authors rethink the design of a miniaturized optical device and find a compact solution for a microspectrometer, based on a tunable filter and a single pixel detector. A porous silicon technology combines efficiently the optical filter function with a thermal mechanical actuator on chip. The methodology for design and process calibration are discussed in detail. The device is the core component of an infrared gas spectrometer.

Product Identifiers

Publisher

Springer

ISBN-10

1441949461

ISBN-13

9781441949462

eBay Product ID (ePID)

109172795

Product Key Features

Author

Gerhard Lammel, Philippe Renaud, Sandra Schweizer

Publication Name

Optical Microscanners and Microspectrometers Using Thermal Bimorph Actuators

Format

Trade Paperback

Language

English

Publication Year

2010

Series

Microsystems Ser.

Type

Textbook

Number of Pages

Xii, 268 Pages

Dimensions

Item Length

9.3in

Item Width

6.1in

Item Weight

16 Oz

Additional Product Features

Series Volume Number

Number of Volumes

1 Vol.

Lc Classification Number

Tj1-1570

Table of Content

1 Introduction.- 2 Basics for a thermally actuated micromirror.- 3 Microscanner technology.- 4 One-dimensional microscanner.- 5 Two-dimensional microscanner.- 6 Advanced Optical Filters of Porous Silicon.- 7 Micromachining using porous Silicon.- 8 Tunable Optical Filter and IR Gas Spectroscopy.- 9 Conclusions and outlook.- Appendices.- A.1 Complement to the curvature calculation due to residual stress.- A.2 Complement to the static temperature distribution calculation.- A.3 Large deflections.- References.- Symbols and Abbreviations.- Glossary of terms.- Acknowledgments.

2002

Topic

Optical Data Processing, Mechanical, Industrial Design / General, Nanotechnology & Mems, Electrical

Dewey Decimal

621.367

Intended Audience

Scholarly & Professional

Dewey Edition

Illustrated

Yes

Genre

Computers, Technology & Engineering

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